问答题
解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么？
光刻胶显影是指用化学显影液溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域，其主要目的是把掩膜版图形准确复制到光刻胶中。
问答题 给出投影掩模板的定义。投影掩模板和光掩模板的区别是什么？
问答题 光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？
问答题 解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？
