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直拉单晶硅工艺学

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填空题

以硅为例,若硅的纯度为9个“9”,即1立方厘米中含硅原子的百分数为(),也就是说1立方厘米的硅中含有的杂质占()PPb。

【参考答案】

99.9999999%;1

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