填空题 检测旋转位移传感器有（）、圆光电编码器等。

填空题 检测直线位移传感器有（）传感器、同步感应传感器等。

填空题 位置检测装置按检测位置的不同分为直接检测和间接检测。直接检测运动部件的实际位移用于（）控制。间接检测运动部件的实际位移用于（）控制。