问答题 什么是氧化工艺？请说明氧化工艺为什么需要高温技术？

问答题 试说明CMOS工艺在硅片上形成氧化物的主要方法，以及他们间的本质区别。

问答题 CMOS工艺中为什么要形成侧墙？在哪一个工艺环节形成及为什么？并说明其形成步骤及主要作用。