问答题 简述采用5次光刻的多晶硅薄膜晶体管的工艺流程的难点与特点。

问答题 简述采用9次光刻的多晶硅薄膜晶体管的工艺流程技术关键。

问答题 简述采用8次光刻的多晶硅薄膜晶体管的工艺流程与非晶硅薄膜晶体管的不同。