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直拉单晶硅工艺学

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填空题

非完整突变光滑界面生长不需要(),晶体以位错露头点作生长源进行生长,原子或分子的()和()主导生长速率,可用非完整突变光滑面生长机制解释。

【参考答案】

二维成核;体扩散;面扩散

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