问答题
简述掺杂工艺流程
1） 衬底清洗 2） 生长掩蔽膜 3） 对掩蔽膜进行光刻和刻蚀 4） 进行选择性掺杂 5） 检测、评估
问答题 简述光刻胶的去除方法的三种？
问答题 简述干法刻蚀的应用：气体组成及作用？
问答题 简述刻蚀的要求
