判断题
插入提篮时晶圆图形面朝上,平行插入。
错误(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看答案解析 ↓↓↓)
判断题 晶圆周边预留的胶膜宽度≤1㎜、无残缺胶膜。
判断题 贴膜机3小时未使用时,再次使用前需将裸露在空气中的胶膜截掉,以防外来物附着在胶膜上。
判断题 圆形、方形晶圆盒产品叠放数≤3层,且小规格晶圆盒上不得放置大规格晶圆盒。