判断题
中子嬗变掺杂不能用于制备p型硅锭。
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判断题 CZ法、MCZ法拉单晶时必须有籽晶；而FZ法拉单晶时不需要籽晶。
多项选择题 蒸镀工艺要求蒸镀室为高真空度的原因（）
单项选择题 PVD与CVD比较，下列哪种说法正确（）
