填空题 工件加工后表面的（）特性称为表面粗糙度，可以用轮廓算术平均偏差（）与微观不平度+点高度（）表示，它们的数值越大，则表示越粗糙。

填空题 按其产生原因，残余应力可分为（）应力、（）应力、热处理应力及机械加工应力。

填空题 激光干涉仪定位装置的特点是：定位精度高，可小于（），且不需刻线尺，所以（）不受限制。