问答题
低压化学气相淀积与常压化学气相淀积法相比，优点有？
①晶体生长或成膜的质量好；②淀积温度低，便于控制；③可使淀积衬底的表面积扩大，提高淀积效率。
问答题 阱的主要类型
问答题 实验室常用的真空装置包括三个部分？
问答题 真空泵的类型
