问答题
简述正性光刻和负性光刻的概念？优缺点？
•正性光刻是把与掩膜版上相同的图形复制到晶圆上。•负性光刻是把与掩膜版上图形相反的图形复......
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问答题 光刻过程需要哪八大步骤？每个步骤的作用？
问答题 简述光刻的主要参数
问答题 简述光刻的目的？
