填空题 光栅倍频器是对光栅输出信号进行（）等处理的电子装置。

填空题 磁栅传感器由（）组成。

填空题 当位移传感器以（）的形式产生一个数字式输出信号，则这种位移传感器就称为数字式位移传感器。