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直拉单晶硅工艺学

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填空题

晶体生长过程中,单晶硅结晶界面平坦,说明界面处的()等于零。

【参考答案】

径向温度梯度

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填空题 整个单晶硅生长过程中,()的变化过程说明结晶界面的()可能会经历由大于零等于零,变到小于零的过程。

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填空题 热场的径向温度梯度,包括晶体径向温度梯度,熔体径向温度梯度和()三种径向温度梯度。

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