问答题
简述CVD反应的基本类型？
A.热分解反应 B.还原或置换反应 C.氧化或氮化反应 D.歧化反应
问答题 为什么射频辉光放电的击穿电压和维持放电的工作电压均降低？
问答题 简述蒸发镀膜相比溅射镀膜工艺的特点？
问答题 简述激光蒸发法的特点？
