问答题
工厂中硅片(wafer)的制造过程可分哪几个工艺过程(module)?
主要有四个部分:DIFF(扩散)、TF(薄膜)、PHOTO(光刻)、ETCH(刻蚀)。其中DIFF又包括FURNACE(......
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问答题 一般的硅片(wafer)基材(substrate)可区分为N,P两种类型(type),何谓 N, P-type wafer?
问答题 从0.35um->0.25um->0.18um->0.15um->0.13um的technology改变又代表的是什么意义?
问答题 所谓的0.13um的工艺能力(technology)代表的是什么意义?