填空题 为提高光栅式测试系统的分辨率和测得比栅距更小的位移量，经常采用（）技术。

填空题 被测量的值处在稳定状态下，传感器输出与输入的关系称为传感器的（），其主要技术指标有：（）、（）迟滞和重复性等。

填空题 电容式传感器是将被测量的变化转换成电容量变化的一种传感器，主要类型有：变极距型、（）、（）。