填空题
杂质原子（或离子）在半导体晶片中的扩散机构比较复杂，但主要可分为两种机构：替位式扩散和（）式扩散。
间隙
填空题 入射离子的两种能量损失模型为：核碰撞和（）碰撞。
填空题 负胶适于刻蚀（）（细/粗）线条。
填空题 曝光后显影时感光的胶层没有溶解，没有感光的胶层溶解，这种胶为（）（正/负）胶。
