问答题
通常对蒸发源材料的要求有哪些？
（1）熔点要高（2）饱和蒸气压低（3）化学性质稳定，在高温下不与蒸发材料发生化学反应......
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问答题 简述气体分子的平均自由程概念及其与压强关系的表达式？
问答题 描述气体分子从表面的反射－余弦定律及其意义？
问答题 简述CVD输运反应的原理。
