单项选择题 每片晶圆上机前必须检验晶圆批号刻字和（）一致（忽略前后缀）。

单项选择题 更换框架时必须核对（），并将框架批号和供应商填写在流程卡上。

单项选择题 作业过程卡物不分离，特殊情况需悬挂（）。