问答题
化学气相沉积的主要缺点有哪些？
（1）化学反应需要高温；（2）反应气体会和基片或设备发生化学反应；（3）在化学气相沉积中所使用的......
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问答题 简述捕获泵再生时必须遵循的要求。
问答题 何为低温泵，按其工作原理可分几种类型？
问答题 何为分子泵，其工作特点是什么？分子泵有哪几种形式，各有何特点？
