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集成电路技术综合练习

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多项选择题

晶圆检测过程中,存在一些特殊的晶圆,因其自身性能特点,需要根据晶圆随件单上的所要求的测试条件进行扎针测试,那么特殊晶圆的扎针测试有()

A.防尘测试
B.避光测试
C.加温测试
D.曝光测试

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多项选择题 在晶圆检测过程中,用晶圆镊子夹取晶圆时,晶圆镊子的()应置于晶圆正面,()应置于晶圆背面,夹取晶圆的空白部分,不可伤及晶圆。

多项选择题 请选择晶圆在测试过程中所采用的设备()

多项选择题 晶圆检测工艺中,下列属于扎针测试前的晶圆导片的步骤的是()

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