填空题 镀膜室内真空度高表明气体压强（），真空度低则气体压强（）。

填空题 Torr和Pa是两个常用来表示真空度的单位，它们较为准确的换算关系为：（）。

填空题 按照材料状态不同，一般将薄膜分为（）薄膜、（）薄膜和（）薄膜三类。