问答题
根据基片应变里求薄膜变形量的方法有哪些？
（1）把基片一端固定，求出膜生长时产生的自由端位移d；（2）使用圆形基片，从牛顿环的移动量求出d；
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问答题 当薄膜的厚度tf相对和基片的厚度ts很小时，薄膜和基片膨胀系数的相对大小对薄膜应力的性质的影响如何？当应力过大时薄膜会产生何现象？
问答题 薄膜应力的一般形式有哪些？
问答题 薄膜应力有哪两类，它们各自形成的原因是什么？
