单项选择题
下列哪一项不是属于控制Dry Etch刻蚀工艺条件的元件（）
A.EPD（末端探测仪） B.MFC（质量流量控制器） C.Orifice（过压阀） D.APC（自动压力控制器）
单项选择题 相比Wet Etch，下列哪一项不是Dry Etch的优点（）
单项选择题 CVD设备中内部有Robot的设备是（）
单项选择题 CVD中主要进行镀膜的设备是（）
