问答题
讨论工作气体压力对溅射镀膜过程的影响？
在相对较低的压力下，电子的平均自由程较长，电子在阳极上消耗的几率增大，通过碰撞过程引起气体分子电离的几率较低。同时，离子......
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名词解释 气体分子的通量
