多项选择题
清洗机配备离子风枪的作用是（）。
A.消除静电 B.吹干晶圆表面的水 C.吹掉晶圆表面的硅渣 D.用于清洁清洗机
多项选择题 全自动划片机DFD6361的换刀工具和哪些型号的划片机通用（）。
多项选择题 划片的工作吸盘有哪些（）。
多项选择题 以下有紧急停止键的设备有哪些（）。
