问答题
描述电子回旋共振（ECR）。
ECR反应器在1~10毫托的工作压力下产生很密的等离子体。它在磁场环境中采用2.45GHZ微波激励源来产生高密度等离子体......
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问答题 解释发生刻蚀反应的化学机理和物理机理。
问答题 干法刻蚀的目的是什么？例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么？
问答题 定义刻蚀选择比。干法刻蚀的选择比是高还是低？高选择比意味着什么？
