多项选择题
离子注入法具有的特点主要有（）
A.不受固溶度限制B.精确的剂量控制C.掺杂深度小D.均匀性好
多项选择题 碱腐蚀法与酸腐蚀法对比，其优点是（）
多项选择题 硅片表面污染的杂质分类有（）
多项选择题 硅材料的选料主要包括（）
