问答题
应力分为压应力和张应力，下图的形状是由于哪种应力产生的？请在图上标出应力的方向。如果要让上面的结构材料变得平整，要怎么做？
张应力（张的时候产生的应力）与压应力（压的时候产生的应力）在张应力作用下，薄膜会相对衬底进行......
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问答题 在MEMS加工中，为了精确控制腐蚀深度，有哪几种腐蚀停止技术，分别说一下其腐蚀停止原理。
问答题 MEMSSi加工工艺主要分为哪两类，它们最基本的区别是什么？
问答题 分别画出单大马士革和双大马士革工艺流程图。
