判断题
减薄胶膜禁止贴到晶圆背面。
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判断题 总减薄量大于40μm,不需要工程人员跟踪减薄。
判断题 来料晶圆厚度大于250μm的晶圆可以上机减薄。
判断题 减薄作业时,可以用大吸盘减薄小晶圆。