问答题
影响氧化速度的因素有哪些？
掺杂物、晶体晶向、压力、温度、水蒸气。
问答题 描述热氧化过程。
问答题 说明水汽氧化的化学反应，水汽氧化与干氧氧化相比速度是快还是慢？为什么？
问答题 二氧化硅薄膜在集成电路中具有怎样的应用？
