判断题 为保证设备的正常运行，需要定期对设备进行维护。

判断题 干法刻蚀的各向异性腐蚀，湿法刻蚀是各向同性腐蚀。

判断题 砷化镓的湿法刻蚀腐蚀液是磷酸。