判断题
在铸造多晶硅锭中,氧在高度方向的分布是上部高下部低。
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判断题 与高纯石英坩埚相比,高纯石墨坩埚的成本更低,但更可能引入碳污染和金属杂质污染。
判断题 影响铸造多晶硅晶体生长的主要因素是晶粒尺寸、固液界面、热应力、来自坩埚的污染等。
判断题 一般采用的是掺磷的n型多晶硅,而不是掺镓的p型多晶硅。