问答题
一般介电层IMD的形成由那些层次组成？
① SRO层沉积（用来避免上层的氟离子往下渗入器件）；② HDP-FSG（掺有氟离子的硅......
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问答题 一般介电层ILD的形成由那些层次组成？
问答题 何谓ILD？ IMD？ 其目的为何？
问答题 什么是 device breakdown voltage？
