问答题 说明用Cu替代Al作互连线的原因和多层金属布线应注意的问题。

问答题 什么是合金接触？N型GaAs合金接触的常用合金是什么？

问答题 金属化的目的是什么？谈谈Al-Si金属化的工艺条件和注意问题。