填空题 感应同步传感器是利用两个平面形绕组的互感随（）不同而变化的原理组成的可用来测量直线和或（）的位移。

填空题 电感式传感器按结构分为（）、（）和螺管式。

填空题 可以把压电元件等效为一个（）和一个电容器。