填空题 电容式传感器中，变面积式常用于测量较大的（）

填空题 变间隙式电容传感器一般用来测量（）的位移。

填空题 变间隙式电容传感器的工作原理：变间隙式电容传感器由（）和（）的极板组成。当（）板随着被测参数的变化相对（）移动时，引起间距的变化。从而引起（）发生变化。测量出电容，即可推算出位移。