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直拉单晶硅工艺学

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填空题

最能影响结晶状态是()的温度梯度,是()、()、()三者的传热、放热、散热综合影响的结果。

【参考答案】

生长界面处;晶体;熔体;环境

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填空题 单晶硅生长时,热场中存在着固体(晶体)和熔体两种形态,那么温度梯度共有()种。

填空题 从加热器径向温度分布看,中心温度(),靠近加热器边缘温度逐渐增加,成()状,它的变化率为径向温度梯度,用dT/dx表示。

填空题 以加热器纵向温度分布看,中间位置温度(),向上和向下温度逐渐(),它的变化率称为纵向温度梯度,用dT/dy 表示。

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