问答题
如果旋涂室内湿度升高，温度不变，OD会如何变化？
OD会随温度的增加而降低。
问答题 如果旋涂室内温度升高，湿度不变，OD会如何变化？
问答题 在调整旋涂时，请简单说明如何降低尾部OD？
问答题 在调整旋涂时，怎样提高头部OD？
