判断题 防混批的关键是卡物不分离。

判断题 晶圆盒打开后，不允许裸手抓海绵及滤纸，要带上手套/指套后才可以将其取出。

判断题 正确操作设备、可以保持设备的良好技术状态，防止发生非正常磨损和避免突发性故障，延长使用寿命，提高使用效率。