多项选择题
设备维护的基本原则有（）。
A.安全 B.整洁 C.整齐 D.润滑良好
多项选择题 划片使用的提篮有哪几种（）。
多项选择题 PG300RM全自动减薄机不可减薄的晶圆规格有（）。
多项选择题 减薄用的绷膜环有哪几种（）。
