多项选择题

A.在单晶拉制过程中,石英坩埚的纯度远远高于多晶硅的纯度,对硅料的不产生影响
B.装炉操作过程也不可避免的污染了多晶、坩埚和籽晶
C.在氩气下拉制硅单晶时,氩气纯度最高只有99.99%,氩气中的氧气和石墨作用生成一氧化碳,氩气中的氮气、水分也会在高温下和石墨作用,这些反应生成物一部分进入熔硅,使熔硅纯度降低
D.多晶硅在腐蚀、清洗、烘干过程中,高纯水、空气和烘箱也会使多晶污染