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直拉单晶硅工艺学

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填空题

直拉单晶炉型式尽管不同,总的说来,主要由炉体、电气控制部分、()、()、()五大部分组成。

【参考答案】

热系统;水冷系统;真空系统

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填空题 为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率,降低生产成本,与之相对应的必然是石英坩埚(),直拉单晶炉设备()。

填空题 为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率,降低生产成本,确保器件参数的一致性,单晶的()势在必行。

填空题 ()仍是生产硅单晶的主要方法,它工艺成熟,便于控制()和(),容易拉制大直径无位错单晶,尤其能制备10-4欧姆•厘米级特殊单晶。

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