填空题 常用下列指标描述步进电机的工作性能：（）、（）、（）、（）、（）。

填空题 光栅主要由（）和（）组成，通常，（）固定在活动部件上（如工作台或丝杠），（）安装在固定部件上。

填空题 感应同步器是一种应用电磁感应原理来测量（）的高精度检测元件，分为（）和（）。直线式由定尺和滑尺组成，表面有正弦绕组和余弦绕组，当余弦绕组与定尺绕组位移相同时，正弦绕组与定尺绕组错开（）节距。