多项选择题
真空系统描述正确的是()
A.真空系统使直拉单晶炉获得真空并测量真空度高低B.包括机械泵、扩散泵(有些单晶炉没有扩散泵)、真空阀门和真空管道组成C.直拉单晶炉常用油封式旋片式机械真空泵,它体积小振动小噪声低,是直拉单晶炉理想的获得真空的设备D.扩散泵一般和机械泵联合使用,机械泵抽得炉膛真空小于4×10-1乇后,扩散泵才开始工作,单晶炉膛真空可抽到10-5乇
多项选择题 直拉单晶炉热系统包括哪些()
多项选择题 下列属于直拉单晶炉的电气部分的是()
多项选择题 单晶炉的机械传动部分的相关描述()