多项选择题

A.真空系统使直拉单晶炉获得真空并测量真空度高低
B.包括机械泵、扩散泵(有些单晶炉没有扩散泵)、真空阀门和真空管道组成
C.直拉单晶炉常用油封式旋片式机械真空泵,它体积小振动小噪声低,是直拉单晶炉理想的获得真空的设备
D.扩散泵一般和机械泵联合使用,机械泵抽得炉膛真空小于4×10-1乇后,扩散泵才开始工作,单晶炉膛真空可抽到10-5