判断题 干法刻蚀的各向异性腐蚀，湿法刻蚀是各向同性腐蚀。

判断题 砷化镓的湿法刻蚀腐蚀液是磷酸。

判断题 坚膜是为了挥发掉存留在光刻胶中的各种溶剂，从而提高光刻胶对晶圆表面的粘附性。