单项选择题
电磁铸锭法说法错误的是()。
A.熔体与坩埚不直接接触B.硅锭中晶粒较细小C.电磁力对硅熔体的作用,可能使硅熔体中掺杂剂的分布更为均匀D.较少晶体缺陷
单项选择题 单晶硅片的电阻率一般控制在()。
判断题 SiH4不能采用精馏技术进行提纯。
判断题 MCZ法磁致粘滞性控制了流体的运动,也减少了熔体的温度波动。