判断题 分析磁体的作用是对离子束进行质量分离，选出所需的单一离子。

判断题 为保证设备的正常运行，需要定期对设备进行维护。

判断题 干法刻蚀的各向异性腐蚀，湿法刻蚀是各向同性腐蚀。