判断题
减薄划片作业用去离子水电阻值不得低于10MΩ·cm,通入CO2后,去离子水电阻值应控制在1.2±0.5MΩ·cm之间。
错误(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看答案解析 ↓↓↓)
判断题 DAF的有效期为:5℃条件下储存6个月,25℃条件下在氮气柜中存放1个月。
判断题 减薄厚度不符是指圆片厚度不符合规定要求,厚度误差>±10um。
判断题 BBD的翻译为刀片破损检测装置。